[18p-A8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-A8-7] プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性評価

^○土屋政人，真柄晃平，徳田健吾，中澤日出樹 (弘前大理工)

キーワード：diamond-like carbon,nitrogen,chemical vapor deposition