[18p-A9-1~17] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

[18p-A9-14] (101)PdO//(111)Pdバッファー層を用いた{110}一軸配向ペロブスカイト型酸化物薄膜の合成とその評価

^○大島直也¹，江原祥隆¹，及川貴弘¹，田中宏樹¹，内田寛²，内山潔³，舟窪浩¹ (東工大¹，上智大²，鶴岡高専³)

キーワード：薄膜,強誘電体