[18p-B3-1~14] 機能性原子薄膜化合物材料の新展開

△ [18p-B3-5] ラマン分光法による高温スパッタ堆積MoS₂膜の評価

^○石原聖也¹，須田耕平¹，澤本直美¹，大橋匠²，山口晋平²，松浦賢太朗²，若林整²，小椋厚志¹ (明治大¹，東工大²)

キーワード：MoS2,ラマン