[18p-C5-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-C5-17] Ga-Alフラックスを用いた液相成長法による低酸素分圧下でのAl極性AlN膜の作製

^○（M1）関谷竜太¹，安達正芳¹，大塚誠¹，杉山正史²，飯田潤二²，福山博之¹ (東北大多元研¹，住友金属鉱山²)

キーワード：AlN,LPE