PDF ダウンロード スケジュール 14 いいね! 0 18:45 〜 19:00 [18p-C5-18] 酸性アモノサーマル法による高品位GaN高速育成 ○斉藤真1,2,包全喜1,3,栗本浩平1,3,冨田大輔1,小島一信1,山崎芳樹1,鏡谷勇二2,茅野林造3,喬焜1,石黒徹1,横山千昭1,秩父重英1 (東北大多元研1,三菱化学2,日本製鋼所3) キーワード:アモノサーマル