2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-C5-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 19:15 C5 (オープンホール)

18:45 〜 19:00

[18p-C5-18] 酸性アモノサーマル法による高品位GaN高速育成

斉藤真1,2,包全喜1,3,栗本浩平1,3,冨田大輔1,小島一信1,山崎芳樹1,鏡谷勇二2,茅野林造3,喬焜1,石黒徹1,横山千昭1,秩父重英1 (東北大多元研1,三菱化学2,日本製鋼所3)

キーワード:アモノサーマル