[18p-C6-1~17] 3.13 半導体光デバイス

[18p-C6-4] 混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性の数値解析

^○魏徹，宮本智之 (東工大精研)

キーワード：混晶化,選択酸化,数値解析