[18p-C6-1~17] 3.13 半導体光デバイス

△ [18p-C6-5] VCSEL光閉じ込めに用いるイオン注入混晶化の基礎検討

^○（M2）菊池麻子，宮本智之 (東工大)

キーワード：VCSEL,QWI,Ion implantation