[18p-PA7-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-PA7-1] RFリアクティブスパッタ堆積したNiOを用いた透明薄膜トランジスタの試作

川出大佑^1,2，^○酒井涼¹，渡邊康之^2,3，秩父重英⁴，杉山睦^1,2 (東京理科大理工¹，東京理科大総研²，諏訪東京理科大工³，東北大多元研/院工⁴)

キーワード：トランジスタ,薄膜,透明