[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-PB10-5] スパッタエピタキシー法によるSiGeバッファを用いた歪Si層形成技術

^○本橋叡¹，広瀬信光²，笠松章史²，三村高志²，松井敏明²，塚本貴広¹，須田良幸¹ (東京農工大院工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：半導体