2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB10 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB10会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB10-5] スパッタエピタキシー法によるSiGeバッファを用いた歪Si層形成技術

本橋叡1,広瀬信光2,笠松章史2,三村高志2,松井敏明2,塚本貴広1,須田良幸1 (東京農工大院工1,情報通信研究機構2)

キーワード:半導体