イオン注入法で作製した圧縮歪みSi/Si<sub>1-x</sub>C<sub>x</sub>/Si(001)構造の結晶性及びデバイス特性評価

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB10 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB10会場)

13:30 〜 15:30

^○中込諒¹，酒井翔一朗¹，藤原幸亮¹，古川洋志¹，有元圭介¹，山中淳二¹，中川清和¹，宇佐美徳隆²，星裕介²，澤野憲太郎³ (山梨大クリスタル研¹，名大²，東京都市大総研³)

キーワード：半導体