[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [18p-PB5-11] キャピラリー大気圧プラズマジェットを用いたCNTドットアレイの表面官能基修飾の最適化

^○岡田充¹，Abuzairi Tomy^2,3，張晗¹，Poespawati Nji³，永津雅章^1,2 (静大院工¹，創造科技院²，インドネシア大³)

キーワード：プラズマジェット,官能基修飾,CNTドットアレイ