[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[18p-PB5-2] 高真空平板マグネトロン放電の二つのモードでのスパッタ

^○大野貴弘，浅倉直和，河村洋史，宇佐美剛，舩木貴良，伊藤勝利，宇原祥夫，三浦勉，斉藤茂 (東理大)

キーワード：スパッタ