[18p-PB6] 8.4 プラズマエッチング

[18p-PB6-1] CF4とArプラズマでエッチングしたAlGaN表面ダメージ

^○新部正人¹，川上烈生²，中野由崇³，向井孝志⁴，白濱達夫²，平井翔大¹ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大院工³，日亜化学⁴)

キーワード：エッチングダメージ,AlGaN,CF4