[18p-S1-1~9] コンピュータによるプラズマシミュレーションの実際（いま，何をどこまで計算できるのか）

[18p-S1-7] 半導体製造装置のプラズマシミュレーション技術（30分）

^○伝宝一樹 (東京エレクトロン山梨)

キーワード：semiconductor device manufacturing equipment,simulation,plasma