[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-4] 表面処理が高抵抗CZ-Siウェーハのライフタイム測定に与える影響

^○荒木延恵，日髙洋美，宮下守也 (グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：Si,Lifetime,超純水