[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-5] Si酸化膜とSi窒化膜中における金属原子の安定性に関する第一原理解析

^○（M2）柴田大生，小林駿介，末岡浩治 (岡山県立大院)

キーワード：Si酸化膜,Si窒化膜,第一原理計算