2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 09:30 〜 12:00 A16 (E307)

09:45 〜 10:00

[19a-A16-2] 液浸ラマン分光法を用いたTO/LOフォノンスペクトル励起による高Ge濃度歪SiGeメサ構造の異方性2軸応力緩和の観測

山本章太郎1,小瀬村大亮1,富田基裕1,3,武内一真1,横川凌1,臼田宏冶2,小椋厚志1 (明治大理工1,産総研GNC2,学振特別研究員DC3)

キーワード:SiGe,歪,応力緩和