[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [19a-A16-3] EBSP法を用いた微細な歪SiGeメサ構造に生じる応力緩和分布のGe濃度依存性評価

^○富田基裕^1,2，小瀬村大亮¹，臼田宏治³，小椋厚志¹ (明大理工¹，学振特別研究員DC²，産総研GNC³)

キーワード：EBSP,歪Si,SiGe