[19a-A17-1~12] 13.2 絶縁膜技術

△ [19a-A17-11] ポリシラザン塗布膜のCO₂レーザーアニールと多結晶シリコン薄膜トランジスタ応用

^○菱谷大輔¹，堀田昌宏^1,2，石河泰明^1,2，渡辺陽介³，池上浩³，浦岡行治^1,2 (奈良先端大¹，CREST²，九大³)

キーワード：CO2レーザー,ポリシラザン,トランジスタ