[19a-A17-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[19a-A17-5] Laシリケート/Si接合の熱的不安定性と膜中欠陥

^○中崎靖，諸田美砂子，高島章，加藤弘一，三谷祐一郎 (東芝研開セ)

キーワード：La,シリケート,欠陥