2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.2 絶縁膜技術

[19a-A17-1~12] 13.2 絶縁膜技術

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:30 A17 (E308)

11:15 〜 11:30

[19a-A17-8] 分子軌道法を用いて求めた回復率の検討

若尾周一郎1,2,廣瀬和之2,小林大輔2,山本知之1 (早大理工1,宇宙研2)

キーワード:絶縁破壊,第一原理計算,分子軌道法