[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-3] ランガサイト結晶振動子を用いたその場測定によるSiHCl3-BCl3混合系化学気相堆積の観察

齋藤あゆ美，宮崎賢都，松井美沙子，^○羽深等 (横国大院工)

キーワード：化学気相堆積