[19a-A19-1~13] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-A19-8] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化Ge膜を用いたTFTの電気特性評価

^○中谷太一，林将平，森崎誠司，上倉敬弘，山本将悟，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：熱プラズマジェット,ゲルマニウム,薄膜トランジスタ