[19a-A26-1~12] 14.4 光物性・発光デバイス

△ [19a-A26-4] 攪拌機を用いたシリコンナノ粒子の作製

^○北澤駿¹，佐藤慶介¹，深田直樹²，平栗健二¹ (東京電機大院工¹，物材機構²)

キーワード：シリコンナノ粒子,Silicon nanoparicles,化学エッチング