[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-16] 半絶縁性CVDダイヤモンド(111)膜の電気的特性

^○向瀬貴樹¹，金田大輝¹，渡邊俊介¹，森本隆介¹，徳田規夫^1,2,3，山崎聡^2,3，猪熊孝夫¹ (金沢大院自然¹，産総研エネ部門²，JST, CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,アンドープ,半絶縁性膜