[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-17] ウェットアニール処理による(100)ダイヤモンドの表面ラフネス評価

^○宮田大輔¹，南山拓真¹，徳田規夫^1,2,3，竹内大輔^2,3，山崎聡^2,3，猪熊孝夫¹ (金沢大院自然¹，産総研エネ部門²，JST, CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,ウェットアニール,表面ラフネス