2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB1-4] グラフィティックカーボンナイトライドの薄膜化と応用

○荒添弘樹1,2，宮島大吾2，相田卓三1,2 (東大院工1，理研2)

キーワード：Carbon nitride,Actuator