09:30 〜 11:30
[19a-PB1-6] N2と有機化合物蒸気の混合気体放電フローで生成するCNラジカルの付着確率
キーワード：水素化アモルファス窒化炭素膜
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)
09:30 〜 11:30
キーワード：水素化アモルファス窒化炭素膜