2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB1会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB1-6] N2と有機化合物蒸気の混合気体放電フローで生成するCNラジカルの付着確率

茂木紳令,津留紘樹,伊藤治彦 (長岡技科大工)

キーワード:水素化アモルファス窒化炭素膜