09:30 〜 11:30
[19a-PB1-8] Arのマイクロ波放電フロー中でのヘキサメチルジシランの解離励起反応解析
キーワード：ヘキサメチルジシラン,反応解析,プラズマCVD
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[19a-PB1-1~23] 6.2 カーボン系薄膜
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB1 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB1会場)
09:30 〜 11:30
キーワード：ヘキサメチルジシラン,反応解析,プラズマCVD