09:30 〜 09:45
[19a-S1-3] GaAs基板の傾斜方向がInGaAs膜中緩和過程に与える影響 -X線回折その場観察-
キーワード:InGaAs,X線回折,転位
一般セッション(口頭講演)
コードシェアセッション » 14.5化合物半導体,15.3III-V族エピタキシャル結晶,15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション
2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:30 S1 (S1)
09:30 〜 09:45
キーワード:InGaAs,X線回折,転位