2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

コードシェアセッション » 14.5化合物半導体,15.3III-V族エピタキシャル結晶,15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

[19a-S1-1~13] 14.5化合物半導体,15.3III-V族エピタキシャル結晶,15.4III-V族窒化物結晶のコードシェアセッション

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:30 S1 (S1)

09:30 〜 09:45

[19a-S1-3] GaAs基板の傾斜方向がInGaAs膜中緩和過程に与える影響 -X線回折その場観察-

小寺大介1,佐々木拓生2,高橋正光2,神谷格1,大下祥雄1,小島信晃1,山口真史1,鈴木秀俊3 (豊田工大1,原子力機構2,宮崎大3)

キーワード:InGaAs,X線回折,転位