[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [19a-S9-4] プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造および電子物性における高周波電力依存性

^○杉浦啓嗣，賈凌雲，徐達，中村将之，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：アモルファスカーボン,プラズマ励起化学気相堆積法