[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-6] 水素プラズマによる金属の蒸発促進と高速成膜への応用

^○大参宏昌，垣内弘章，安武潔 (阪大院工)

キーワード：水素,プラズマ,金属