[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-7] プラズマ支援原子層堆積により生じるグラフェンの歪み

^○北嶋武，中野俊樹 (防大電気)

キーワード：グラフェン,ALD