[19p-A10-1~22] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [19p-A10-13] 外部応力印加によるVO2薄膜の相転移温度制御

^○安藤峻¹，賈軍軍¹，伊村正明²，金井敏正²，重里有三¹ (青学大理工¹，日本電気硝子²)

キーワード：二酸化バナジウム,薄膜,スパッタ