[19p-A10-1~22] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-A10-22] 金属及びSi基板上へのWadsley相V₆O₁₃及びVO₂(B) 薄膜の選択成長

^○Bintiazhan Nurulhanis，沖村邦雄 (東海大院理工)

キーワード：ニ酸化バナジウム,反応性スパッタ法,ポストあにーる