[19p-A10-1~22] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-A10-6] IrO₂薄膜の作製

^○侯秀一，高橋竜太，ミック リップマー (東大物性研)

キーワード：イリジウム酸化物,薄膜