[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [19p-A12-9] (-201)及びB面β-Ga₂O₃単結晶のシンクロトロン単色X線トポグラフィー観察

^○（M1）桝谷聡士¹，村上竜一¹，輿公祥²，倉又朗人²，飯塚和幸²，嘉数誠¹ (佐賀大院工¹，タムラ製作所²)

キーワード：X線トポグラフィー