13:30 〜 13:45
[19p-A15-1] 極薄歪みSOIにおけるUVラマンスペクトルの厚さ依存性
キーワード：ラマン,歪みSOI,弾性係数
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
[19p-A15-1~12] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
2014年9月19日(金) 13:30 〜 16:45 A15 (E306)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
2014年9月19日(金) 13:30 〜 16:45 A15 (E306)
13:30 〜 13:45
キーワード：ラマン,歪みSOI,弾性係数