[19p-A15-1~12] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

△ [19p-A15-8] 酸化膜トラップ電荷によるSiナノワイヤトランジスタの電流ばらつきの統計的解析

^○鈴木晃人¹，神岡武文²，鎌倉良成³，渡邉孝信¹ (早大理工¹，豊田工大²，阪大院工³)

キーワード：EMC/MD,RTN,RDF