2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19p-A16-1~18] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 13:30 〜 18:15 A16 (E307)

16:00 〜 16:15

[19p-A16-10] Al誘起成長によるSi薄膜をテンプレートとしたSi薄膜の固相成長

○(M1)筋原康博1,Sergii Tutashkonko1,2,高橋勲1,宇佐美徳隆1 (名大1,JST-PV innovation2)

キーワード:Al誘起成長,固相エピタキシャル成長,Si