PDF ダウンロード スケジュール 13 いいね! 0 14:45 〜 15:00 [19p-A16-6] MOCVD法によるGeエピタキシャル成長 (2) ○須田耕平1,石原聖也1,澤本直美1,町田英明2,石川真人2,須藤弘2,大下祥雄3,小椋厚志1 (明治大1,気相成長2,豊田工大3) キーワード:Ge,MOCVD,Epitaxial growth