2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[19p-A16-1~18] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2014年9月19日(金) 13:30 〜 18:15 A16 (E307)

14:45 〜 15:00

[19p-A16-6] MOCVD法によるGeエピタキシャル成長 (2)

須田耕平1,石原聖也1,澤本直美1,町田英明2,石川真人2,須藤弘2,大下祥雄3,小椋厚志1 (明治大1,気相成長2,豊田工大3)

キーワード:Ge,MOCVD,Epitaxial growth