[19p-A19-1~15] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-A19-2] ZrN_x膜を用いた一体型バリヤの作製

^○佐藤勝，武山真弓，野矢厚 (北見工大)

キーワード：絶縁バリヤ,拡散バリヤ