[19p-A24-1~13] 1.7 計測技術・計測標準

[19p-A24-10] 原子層堆積法向けサファイア隔膜真空計の開発

^○石原卓也，栃木偉伸，吉永純一，吉川康秀 (アズビル)

キーワード：隔膜式真空計,原子層堆積,耐デポ