[19p-A8-1~19] 6.6 プローブ顕微鏡

[19p-A8-8] 金属コートカーボンナノファイバー探針の電気特性評価及び接触圧測定

^○田中志保美¹，松井宗一郎¹，種村眞幸¹，北澤正志²，太田亮² (名工大院工¹，オリンパス²)

キーワード：カーボンナノファイバー,カンチレバー