[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-12] COクラスター照射による磁性体エッチング反応

^○唐橋一浩¹，瀬木利夫²，松尾二郎²，浜口智志¹ (阪大院工アトミックデザイン研究センター¹，京大院工²)

キーワード：クラスタービーム,磁性体,カルボニル化合物