[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-17] 3次元原子スケールセルモデルによるプラズマエッチングにおける表面ラフネス形成機構の解明

^○初瀬巧，園部蒼馬，中崎暢也，江利口浩二，斧高一 (京大)

キーワード：plasma etching