[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-18] 原料回転を利用した水素プラズマ誘起SiH₄生成反応の高効率化

^○桑岡裕太¹，山田高寛^1,2，垣内弘章^1,2，安武潔^1,2，大参宏昌^1,2 (阪大院工¹，JST CREST²)

キーワード：プラズマ,シリコン,エッチング