[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-7] ガスパルスエッチングによる高精度形状制御

^○田中基裕，園田靖，高妻豊，角屋誠浩，安井尚輝 (日立ハイテクノロジーズ)

キーワード：プラズマエッチング