[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-8] Front End of Line (FEOL)工程におけるメタル反応生成物によるプロセス変動メカニズムの解明

^○釜地義人，角屋誠浩 (日立ハイテク)

キーワード：エッチング,メタルクリーニング,MG/HK プロセス