[19p-S8-6~19] 8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

[19p-S8-15] プラズマスパッタリングを用いたシリコンナノワイヤ形成

^○山田郁美，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

キーワード：ナノワイヤ,スパッタリング